扫描电子显微镜SEM

测定试样表面形貌，极限分辨率3nm，放大倍数20～300000倍，加速电压2～30KV。可变焦聚光镜在改变电子束流时保持聚焦状态和观察区域不变。电子光学系统可以在大束流下形成小束斑，有利于微区分析。钨灯丝电子枪具有自动对中、手动-自动聚焦和消像散功能。